真空電鍍時(shí)產(chǎn)生掉膜的原因很多也很復(fù)雜。處理起來(lái)很棘手，可以考慮從以下幾個(gè)方面排除：
1、表面清潔度
產(chǎn)品表面潔凈度不夠，可以考慮離子源清洗時(shí)氬氣放大、時(shí)間長(zhǎng)點(diǎn)。
2、清洗過(guò)程中的問(wèn)題
鍍前清洗不到位，或更換了清洗液。
3、工藝的問(wèn)題
工藝參數(shù)是否有變動(dòng)，在鍍膜時(shí)間和電流上做適當(dāng)調(diào)整。
4、靶材的問(wèn)題
鈦靶是否中毒，檢查和更換。
5、真空腔是否漏氣
進(jìn)行一次撿漏。
6、產(chǎn)品表面氧化
氧化的原因很多，可以自行判斷處理。
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